undefined

Atomic layer deposition of Ru films from bis(2,5-dimethylpyrrolyl)ruthenium and oxygen

Publiceringsår

2012

Upphovspersoner

Kukli, Kaupo; Aarik, Jaan; Aidla, Aleks; Jogi, Indrek; Arroval, Tonis; Lu, Jun; Sajavaara, Timo; Laitinen, Mikko; Kiisler, Alma-Asta; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku; Peck, John; Natwora, Jim; Geary, Joan; Spohn, Ronald; Meiere, Scott; Thompson, David M.

Organisationer och upphovspersoner

Jyväskylä universitet

Laitinen Mikko Orcid -palvelun logo

Sajavaara Timo Orcid -palvelun logo

Helsingfors universitet

Kukli Kaupo

Leskelä Markku

Ritala Mikko

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Thin Solid Films

Förläggare

Elsevier

Volym

520

Nummer

7

Sidor

2756-2763

Publikationsforum

68419

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Kemi

Nyckelord

[object Object]

Publiceringsland

Schweiz

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Ja

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.tsf.2011.11.088

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Ja