ALD ATO nanolaminates with adjustable electrical properties: poster presentation
Publiceringsår
2009
Upphovspersoner
Puurunen, Riikka, L.; Kattelus, Hannu
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Poster
Moderpublikationens typ
Konferens
Målgrupp
Vetenskaplig
Publikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
9th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2009
Konferens
9th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2009
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej