Module Implementation of 3D Sub-THz and THz Silicon Micromachined Systems
Publiceringsår
2024
Upphovspersoner
Ermolov, Vladimir; Varonen, Mikko; Hujanen, Arto; Lamminen, Antti; Ailas, Henri; Pursula, Pekka
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Lamminen Antti
Hujanen Arto
Ailas Henri
Varonen Mikko 
Pursula Pekka
Ermolov Vladimir
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Moderpublikationens namn
Sidor
61-63
ISSN
ISBN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/APMC60911.2024.10867808
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja