Electron radiation sensitive hybrid sol-gel materials for electron-beam lithography and diffractive optics

Publiceringsår

1998

Upphovspersoner

Rantala, Juha; Penner, R. Scott; Honkanen, Seppo; Nordman, Nina; Nordman, Olli; Vähäkangas, Jouko; Fallahi, Mahmoud; Peyghambarian, Nasser

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Vähäkangas Jouko

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Volym

3469

Sidor

30-37

ISSN

0277-786X

ISBN

978-0-8194-2924-7

Publikationsforum

71479

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1117/12.312923

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej