undefined

Molecular layer deposition of hybrid silphenylene-based dielectric film

Publiceringsår

2023

Upphovspersoner

Li, Xinzhi; Vehkamäki, Marko; Chundak, Mykhailo; Mizohata, Kenichiro; Vihervaara, Anton; Putkonen, Matti; Leskelä, Markku; Ritala, Mikko

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Vihervaara Anton

Mizohata Kenichiro

Leskelä Markku

Vehkamäki Marko

Putkonen Matti

Ritala Mikko

Chundak Mykhailo

Li Xinzhi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Volym

6

Nummer

5

Artikelnummer

183

Publikationsforum

91506

Publikationsforumsnivå

1

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ja

Öppen tillgång till publikationskanalen

Delvis öppen publikationskanal

Licens för förläggarens version

CC BY

Parallellsparad

Ja

Parallellagringens licens

CC BY

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Kemi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Publiceringsland

Schweiz

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1007/s42114-023-00756-8

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Ja