(oral talk) Gettering in silicon-on-insulator wafers with polysilicon layer
Publiceringsår
2008
Upphovspersoner
Savin, Hele; Yli-Koski, Marko; Haarahiltunen, Antti; Virkkala, Ville; Talvitie, Heli; Asghar, M. I.; Sinkkonen, Juha
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Savin Hele 
Haarahiltunen Antti
Talvitie Heli
Asghar Imran
Yli-Koski Marko
Virkkala Ville
Publikationstyp
Publikationsform
Abstrakt
Moderpublikationens typ
Konferens
Målgrupp
Vetenskaplig
Publikationskanalens uppgifter
Konferens
European Materials Research Society Spring Meeting
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi; Medicinsk bioteknologi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Inhemsk
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej