(poster) Simulations of Iron Re-Dissolution from Oxygen Precipitates in Cz-Silicon and its Impact on Gettering Efficiency
Publiceringsår
2003
Upphovspersoner
Väinölä, H.; Zhang, Peng; Haarahiltunen, A.; Istratov, A. A.; Weber, E. R.
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Väinölä Hele 
Publikationstyp
Publikationsform
Abstrakt
Moderpublikationens typ
Konferens
Målgrupp
Vetenskaplig
Publikationskanalens uppgifter
Konferens
Conference on gettering and defect engineering in semiconductor technology
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Inhemsk
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej