undefined

(poster) Silicon surface passivation with atomic layer deposited aluminum nitride

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Repo, Päivikki; Bao, Yameng; Seppänen, Heli; Sippola, Perttu; Savin, Hele

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Savin Hele Orcid -palvelun logo

Seppänen Heli Orcid -palvelun logo

Sippola Perttu

Repo Päivikki

Bao Yameng

Publikationstyp

Publikationsform

Abstrakt

Moderpublikationens typ

Konferens

Målgrupp

Vetenskaplig

Publikationskanalens uppgifter

Konferens

International Conference on Defects in Semiconductors

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Inhemsk

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej