In-Plane AlN-based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS
Publiceringsår
2023
Upphovspersoner
Bespalova, Kristina; Nieminen, Tarmo; Gabrelian, Artem; Ross, Glenn; Paulasto-Kröckel, Mervi
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Gabrelian Artem
Ross Glenn 
Bespalova Kristina
Paulasto-Kröckel Mervi
Nieminen Tarmo
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Förläggare
Volym
9
Nummer
8
Artikelnummer
2300015
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ja
Öppen tillgång till publikationskanalen
Helt öppen publikationskanal
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1002/aelm.202300015
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja