Sputter deposition of piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Publiceringsår
2014
Upphovspersoner
Barth, S.; Gloess D.; Bartzsch H.; Frach P.; Herzog T.; Walter S.; Heuer H.; Suchaneck, G.; Gerlach G.; Juuti, J.; Palosaari, J.
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
2014 7th GMM-Workshop - Proceedings of Energy self-sufficient Sensors
Förläggare
Sidor
86-90
ISBN
Publikationsforum
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi
Publiceringsland
Tyskland
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Okänd
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja