Comparison of SiNx-based Surface Passivation Between Germanium and Silicon
Publiceringsår
2022
Upphovspersoner
Liu, Hanchen; Pasanen, Toni; Fung, John; Isometsä, Joonas; Leiviskä, Oskari; Vähänissi, Ville; Savin, Hele
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Liu Hanchen 
Savin Hele
Fung John
Isometsä Joonas
Leiviskä Oskari
Pasanen Toni
Vähänissi Ville
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Förläggare
Volym
220
Nummer
2
Artikelnummer
2200690
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ja
Öppen tillgång till publikationskanalen
Delvis öppen publikationskanal
Parallellsparad
Ja
Publiceringsavgift för öppen tillgång €
2847
Betalningsår för den öppen tillgång publiceringsavgiften
2022
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Materialteknik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1002/pssa.202200690
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja