Piin anisotrooppinen märkäetsaus
Publiceringsår
1983
Upphovspersoner
Ylilammi, Markku
Abstrakt
Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.
Visa merOrganisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ylilammi Markku
Publikationstyp
Publikationsform
Separat verk
Målgrupp
Facklig
UKM:s publikationstyp
D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller -utredning
Publikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita
Förläggare
VTT Technical Research Centre of Finland
Nummer
176
ISSN
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Licens för förläggarens version
Annan licens
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Språk
finska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej