Formation of CoSi on Polycrystalline Silicon by RTA
Publiceringsår
1990
Upphovspersoner
Drozdy, Gyözö; Ronkainen, Hannu; Suni, Ilkka
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ronkainen Hannu
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Konferens
14th Nordic Semiconductor Meeting
Förläggare
Technical University of Denmark DTU
Sidor
198-201
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ingen information
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej