undefined

A new method for simultaneous characterization of process cleanliness and true particle removal efficiency

Publiceringsår

1993

Upphovspersoner

Henelius, N.; Anttila, Olli; Ronkainen, Hannu; Molarius, Jyrki

Organisationer och upphovspersoner

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Konferens

184th Electrochemical Society Meeting

Förläggare

Electrochemical Society ECS

Sidor

514-515

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej