A new method for simultaneous characterization of process cleanliness and true particle removal efficiency
Publiceringsår
1993
Upphovspersoner
Henelius, N.; Anttila, Olli; Ronkainen, Hannu; Molarius, Jyrki
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ronkainen Hannu
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Inte kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
184th Electrochemical Society Fall Meeting: Preprinted Extended Abstracts
Konferens
184th Electrochemical Society Meeting
Förläggare
Electrochemical Society ECS
Sidor
514-515
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ingen information
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej