A batch process for depositing amorphous metallic Mo-Si-N films
Publiceringsår
2002
Upphovspersoner
Kattelus, Hannu; Heikkinen, Hannele; Häärä, Ari; Ylönen, Mari; Tolkki, Antti
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Konferens
4th International Conference on Materials for Microelectronics and Nanoengineering, MFMN 2002
Förläggare
IOM Communications Ltd.
Sidor
125-128
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej