Improvement of SC-1 bath stability by complexing agents
Publiceringsår
2002
Upphovspersoner
Saloniemi, Heini; Visti, Taru; Eränen, Simo; Kiviranta, Arto; Anttila, Olli
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Saloniemi Heini
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Journal
ECS Proceedings Volumes
Moderpublikationens namn
Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing VII. San Francisco 2001
Förläggare
Electrochemical Society ECS
Volym
2001-26
Sidor
329-336
ISSN
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej