Square-extensional mode single-crystal silicon micromechanical RF-resonator
Publiceringsår
2003
Upphovspersoner
Kaajakari, Ville; Mattila, Tomi; Oja, Aarne; Kiihamäki, Jyrki; Kattelus, Hannu; Koskenvuori, Mika; Rantakari, Pekka; Tittonen, Ilkka; Seppä, Heikki
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Kiihamäki Jyrki 
Oja Aarne
Kattelus Hannu
Seppä Heikki
Mattila Tomi
Kaajakari Ville
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Konferens
12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers '03
Sidor
951-954
ISBN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/SENSOR.2003.1216924
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej