undefined

Monolithic SOI-MEMS capacitive pressure sensor with standard bulk CMOS readout circuit

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Ylimaula, Miikka; Åberg, Markku; Kiihamäki, Jyrki; Ronkainen, Hannu

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Ronkainen Hannu

Kiihamäki Jyrki Orcid -palvelun logo

Åberg Markku

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Konferens

29th European Solid-State Circuits Conference, ESSCIRC 2003

Förläggare

IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers

Sidor

611-614

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1109/ESSCIRC.2003.1257209

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej