Monolithic SOI-MEMS capacitive pressure sensor with standard bulk CMOS readout circuit
Publiceringsår
2003
Upphovspersoner
Ylimaula, Miikka; Åberg, Markku; Kiihamäki, Jyrki; Ronkainen, Hannu
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Inte kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
ESSCIRC 2003, Proceedings of the 29th European Solid-State Circuits Conference
Konferens
29th European Solid-State Circuits Conference, ESSCIRC 2003
Förläggare
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
Sidor
611-614
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/ESSCIRC.2003.1257209
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej