Mems packaging using precision machined LTCC substrates
Publiceringsår
2003
Upphovspersoner
Heikkinen, Veli; Aikio, Janne; Alajoki, Teemu; Hiltunen, Jussi; Antti-Jussi, Mattila; Ollila, Jyrki; Karioja, Pentti
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Aikio Janne
Hiltunen Jussi
Ollila Jyrki
Antti-Jussi Mattila
Karioja Pentti 
Alajoki Teemu
Heikkinen Veli
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS (MOEMS 2003)
Sidor
81-82
ISBN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/OMEMS.2003.1233477
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej