undefined

< Tillbaka till sökresultaten

"Plug-up" - A new concept for fabricating SOI MEMS devices

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Kiihamäki, Jyrki; Pekko, Panu; Kattelus, Hannu; Sillanpää, Teuvo; Mattila, Tomi

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Kattelus Hannu

Kiihamäki Jyrki Orcid -palvelun logo

Pekko Panu

Sillanpää Teuvo

Mattila Tomi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2003

Konferens

5th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2003

Förläggare

IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers

Sidor

229-233

ISBN

0-7803-7066-X

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1109/DTIP.2003.1287042

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej