undefined

Stability and residue studies on complexing agents in SC-1 bath

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Saloniemi, Heini; Eränen, Simo; Ketola, Raimo; Kokkonen, Juha; Lehto, Sari; Luomaperä, Kaija; Vastamäki, Pertti; Siren, Heli; Anttila, Olli

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Saloniemi Heini

Vastamäki Pertti

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Konferens

6th International Symposium on the Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002

Förläggare

Trans Tech Publications

Sidor

41

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Teknisk kemi, kemisk processteknik; Materialteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej