Stability and residue studies on complexing agents in SC-1 bath
Publiceringsår
2003
Upphovspersoner
Saloniemi, Heini; Eränen, Simo; Ketola, Raimo; Kokkonen, Juha; Lehto, Sari; Luomaperä, Kaija; Vastamäki, Pertti; Siren, Heli; Anttila, Olli
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Inte kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Proceedings of the International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002
Konferens
6th International Symposium on the Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002
Förläggare
Trans Tech Publications
Sidor
41
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Teknisk kemi, kemisk processteknik; Materialteknik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej