Smoothing of microfabricated silicon features by thermal annealing in reducing or inert atmospheres
Publiceringsår
2009
Upphovspersoner
Kolari, Kai; Vehmas, Tapani; Svensk, Olli; Törmä, Pekka; Aalto, Timo
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Volym
2010
Nummer
T141
Artikelnummer
014017
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1088/0031-8949/2010/T141/014017
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej