Simulations of Iron Re-Dissolution from Oxygen Precipitates in Cz-Silicon and its Impact on Gettering Efficiency

Simulations of Iron Re-Dissolution from Oxygen Precipitates in Cz-Silicon and its Impact on Gettering Efficiency

Publiceringsår

2004

Upphovspersoner

Väinölä, H.; Zhang, P.; Haarahiltunen, A.; Istratov, A. A.; Weber, E. R.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Väinölä Hele Orcid -palvelun logo

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Volym

95-96

Sidor

581-586

Publikationsforum

54726

Publikationsforumsnivå

1

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Ja

Sampublikation med ett företag

Nej

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Ja

Simulations of Iron Re-Dissolution from Oxygen Precipitates in Cz-Silicon and its Impact on Gettering Efficiency - Forskning.fi