Scatterometric characterization of diffractive optical elements
Publiceringsår
2014
Upphovspersoner
Saastamoinen, Toni; Husu, Hannu; Laukkanen, Janne; Siitonen, Samuli; Turunen, Jari; Lassila, Antti
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Lassila Antti 
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Journal
Moderpublikationens namn
Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors VIII
Konferens
Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors VIII
Volym
9173
Artikelnummer
91730I
ISSN
ISBN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Ja
DOI
10.1117/12.2061699
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja