Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis
Publiceringsår
2015
Upphovspersoner
Gao, Feng; Arpiainen, Sanna; Puurunen, Riikka L.
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
33
Nummer
1
Artikelnummer
010601
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Materialteknik; Nanoteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1116/1.4903941
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja