Design rules for temperature compensated degerately n-type-doped silicon MEMS resonators

Publiceringsår

2016

Upphovspersoner

Jaakkola, Antti; Prunnila, Mika; Pensala, Tuomas; Dekker, James R.; Pekko, Panu

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Jaakkola Antti

Dekker James R.

Prunnila Mika

Pekko Panu

Pensala Tuomas

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Journal of Microelectromechanical Systems

Volym

Nummer

Sidor

1832-1839

ISSN

1057-7157

Publikationsforum

61025

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Maskin- och produktionsteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1109/JMEMS.2015.2443379