Sputtered W-N diffusion barriers
Publiceringsår
1985
Upphovspersoner
Kattelus, Hannu; Kolawa, Elzbieta; Affolter, Klaus; Nicolet, Marc
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Kattelus Hannu
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
3
Nummer
6
Sidor
2246-2254
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1116/1.572901
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej