undefined

Atomic layer deposition of titanium nitride layer on porous silicon supercapacitor electrodes

Publiceringsår

2014

Upphovspersoner

Grigoras, Kestutis; Keskinen, J.; Yli-Rantala, Elina; Laakso, S.; Välimäki, H.; Kauranen, P.; Ahopelto, Jouni; Prunnila, Mika

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Yli-Rantala Elina

Ahopelto Jouni

Prunnila Mika

Publikationstyp

Publikationsform

Poster

Moderpublikationens typ

Konferens

Målgrupp

Vetenskaplig

Publikationskanalens uppgifter

Konferens

14th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2014

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej