Bias-induced stress transitions in sputtered TiN films
Publiceringsår
1986
Upphovspersoner
Kattelus, Hannu; Tandon, Jawahar; Sala, C.; Nicolet, Marc
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Kattelus Hannu
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
4
Nummer
4
Sidor
1850-1854
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Materialteknik
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1116/1.573776
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej