Tungsten silicide formation from sequentially sputtered tungsten and silicon films
Publiceringsår
1991
Upphovspersoner
Molarius, Jyrki; Franssila, Sami; Drozdy, Gyözö; Saarilahti, Jaakko
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Drozdy Gyözö
Saarilahti Jaakko
Molarius Jyrki
Franssila Sami
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Volym
53
Sidor
383-390
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi; Materialteknik
Nyckelord
[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/0169-4332(91)90290-Z
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej