Tungsten: Sputter deposition and plasma etching
Publiceringsår
1991
Upphovspersoner
Franssila, Sami
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Franssila Sami
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Volym
53
Sidor
358-363
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi; Materialteknik
Nyckelord
[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/0169-4332(91)90286-S
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej