In silico design of a thermal atomic layer etch process of cobalt
Publiceringsår
2021
Upphovspersoner
Kondati Natarajan, Suresh; Nolan, Michael; Theofanis, Patrick; Mokhtarzadeh, Charles; Clendenning, Scott B.
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Kondati Natarajan Suresh
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Förläggare
Volym
39
Nummer
2
Artikelnummer
022603
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Data- och informationsvetenskap; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Ja
DOI
10.1116/6.0000804
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja