MOCVD Al(Ga)N Insulator for Alternative Silicon-On-Insulator Structure

Publiceringsår

2020

Upphovspersoner

Ross, Glenn; Luntinen, Ville; Broas, Mikael; Suihkonen, Sami; Tuomi, Turkka; Lankinen, Aapo; Danilewsky, Andreas; Tilli, Markku; Paulasto-Kröckel, Mervi

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Lankinen Aapo

Ross Glenn

Paulasto-Kröckel Mervi

Broas Mikael

Suihkonen Sami

Tuomi Turkka

Luntinen Ville

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Artikelnummer

9229836

ISBN

978-1-7281-6292-8

Publikationsforum

5475

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Maskin- och produktionsteknik; Materialteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1109/ESTC48849.2020.9229836