A Film Bulk Acoustic Resonator Based on Ferroelectric Aluminum Scandium Nitride Films

Publiceringsår

2020

Upphovspersoner

Wang, Jialin; Park, Mingyo; Mertin, Stefan; Pensala, Tuomas; Ayazi, Farrokh; Ansari, Azadeh

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Mertin Stefan

Pensala Tuomas

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Journal of Microelectromechanical Systems

Volym

Nummer

Artikelnummer

9169713

Sidor

741-747

ISSN

1057-7157

Publikationsforum

61025

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Maskin- och produktionsteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1109/JMEMS.2020.3014584