Silicon oxide-niobium oxide mixture films and nanolaminates grown by atomic layer deposition from niobium pentaethoxide and hexakis(ethylamino) disilane

Publiceringsår

2020

Upphovspersoner

Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Heikkilä, Mikko J.; Castan, Helena; Duenas, Salvador; Mizohata, Kenichiro; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Kukli Kaupo

Mizohata Kenichiro

Kemell Marianna

Leskelä Markku

Ritala Mikko

Heikkilä Mikko J.

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Nanotechnology

Moderpublikationens namn

Nanotechnology

Volym

Nummer

Artikelnummer

195713

ISSN

0957-4484

Publikationsforum

63717

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Kemi; Nanoteknologi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Publiceringsland

Förenade kungariket

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1088/1361-6528/ab6fd6