AlOx surface passivation of black silicon by spatial ALD: Stability under light soaking and damp heat exposure
Publiceringsår
2020
Upphovspersoner
Heikkinen, Ismo T. S.; Koutsourakis, George; Virtanen, Sauli; Yli-Koski, Marko; Wood, Sebastian; Vähänissi, Ville; Salmi, Emma; Castro, Fernando A.; Savin, Hele
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Förläggare
Volym
38
Nummer
2
Artikelnummer
022401
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Ja
DOI
10.1116/1.5133896
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja