Optical and mechanical properties of nanolaminates of zirconium and hafnium oxides grown by atomic layer deposition
Publiceringsår
2020
Upphovspersoner
Jogiaas, Taivo; Kull, Mikk; Seemen, Helina; Ritslaid, Peeter; Kukli, Kaupo; Tamm, Aile
Organisationer och upphovspersoner
Helsingfors universitet
Kukli Kaupo
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
Volym
38
Nummer
2
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ja
Öppen tillgång till publikationskanalen
Delvis öppen publikationskanal
Licens för förläggarens version
CC BY
Parallellsparad
Ja
Parallellagringens licens
CC BY
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Kemi; Nanoteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Publiceringsland
Förenta staterna (USA)
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1116/1.5131563
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja