Monolayer thickness in atomic layer deposition
Publiceringsår
1996
Upphovspersoner
Ylilammi, Markku
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ylilammi Markku
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Volym
279
Nummer
1-2
Sidor
124-130
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/0040-6090(95)08159-3
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej