Capacitive microphone with low-stress polysilicon membrane and high-stress polysilicon backplate

Publiceringsår

2000

Upphovspersoner

Torkkeli, Altti; Rusanen, Outi; Saarilahti, Jaakko; Seppä, Heikki; Sipola, Hannu; Hietanen, Jarmo

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Torkkeli Altti

Sipola Hannu

Seppä Heikki

Saarilahti Jaakko

Rusanen Outi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Sensors and Actuators A: Physical

Volym

Nummer

Sidor

116-123

ISSN

0924-4247

Publikationsforum

67021

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1016/S0924-4247(00)00336-8

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej