New polymer materials for nanoimprinting
Publiceringsår
2000
Upphovspersoner
Schulz, H.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, T.; Sotomayor-Torres, C.; Pfeiffer, Karl; Bleidiessel, G.; Grutzner, G.; Cardinaud, C.; Gaboriau, F.; Peignon, M.-C.; Ahopelto, Jouni; Heidari, B.
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ahopelto Jouni
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Volym
18
Nummer
4
Sidor
1861 - 1865
ISSN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1116/1.1305331
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej