undefined

New polymer materials for nanoimprinting

Publiceringsår

2000

Upphovspersoner

Schulz, H.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, T.; Sotomayor-Torres, C.; Pfeiffer, Karl; Bleidiessel, G.; Grutzner, G.; Cardinaud, C.; Gaboriau, F.; Peignon, M.-C.; Ahopelto, Jouni; Heidari, B.

Organisationer och upphovspersoner

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volym

18

Nummer

4

Sidor

1861 - 1865

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1116/1.1305331

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej