Design and Fabrication of Aluminum Nitride Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for Air Flow Measurements
Publiceringsår
2019
Upphovspersoner
Karuthedath, Cyril; Thanniyil Sebastian, Abhilash; Saarilahti, Jaakko; Sillanpää, Teuvo; Pensala, Tuomas
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Thanniyil Sebastian Abhilash 
Karuthedath Cyril
Saarilahti Jaakko
Sillanpää Teuvo
Pensala Tuomas
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Inte kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Konferens
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2019
Förläggare
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
Artikelnummer
8925544
Sidor
2489-2492
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Data- och informationsvetenskap; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/ULTSYM.2019.8925544
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja