Amorphous layer formation at the TaC/Cu interface in the Si/TaC/Cu metallization system

Publiceringsår

2002

Upphovspersoner

Laurila, Tomi; Kejun, Zeng; Kivilahti, Jorma K.; Molarius, Jyrki; Suni, Ilkka

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Suni Ilkka

Molarius Jyrki

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Applied Physics Letters

Volym

Nummer

Sidor

938-940

ISSN

0003-6951

Publikationsforum

51518

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1063/1.1447601

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej