Fluorescence microscopy for quality control in nanoimprint lithography

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Finder, Ch.; Beck, M.; Seekamp, J.; Pfeiffer, K.; Carlberg, P.; Maximov, I.; Reuther, F.; Zankovych, S.; Sarwe, E.L.; Ahopelto, Jouni; Montelius, L.; Mayer, C.; Sotomayor Torres, C.M.

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Ahopelto Jouni

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Microelectronic Engineering

Konferens

28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering

Volym

67-68

Sidor

623-628

ISSN

0167-9317

Publikationsforum

63335

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Materialteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1016/S0167-9317(03)00123-0

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej