A batch process to deposit amorphous metallic Mo-Si-N films
Publiceringsår
2003
Upphovspersoner
Kattelus, Hannu; Heikkinen, Hannele; Häärä, Ari; Ylönen, Mari; Tolkki,
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Häärä Ari
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
14
Nummer
5-7
Sidor
427-430
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1023/A:1023925423733
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej