Potential of amorphous Mo-Si-N films for nanoelectronic applications

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Ylönen, Mari; Kattelus, Hannu; Savin, A.; Kivinen, P.; Haatainen, Tomi; Ahopelto, Jouni

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Ahopelto Jouni

Haatainen Tomi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Microelectronic Engineering

Volym

Nummer

2-4

Sidor

337-340

ISSN

0167-9317

Publikationsforum

63335

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/S0167-9317(03)00425-8

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej