Interfacial reactions in the Si/TaC/Cu system

Publiceringsår

2004

Upphovspersoner

Laurila, Tomi; Molarius, Jyrki; Kivilahti, J.K.

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Molarius Jyrki

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Microelectronic Engineering

Volym

Nummer

3-4

Sidor

301-309

ISSN

0167-9317

Publikationsforum

63335

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.mee.2004.02.002

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej