< Tillbaka till sökresultaten

Wet Etching of Silicon

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Gosálvez, Miguel A.; Zubel, I.; Viinikka, Eeva

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Samlingsverk

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A3 Del av bok eller annat samlingsverk

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Second Edition

Förläggare

Sidor

470-502

ISBN

978-0-323-29965-7

Publikationsforum

Publikationsforumsnivå

2

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Inhemsk

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/B978-0-323-29965-7.00022-1

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Ja