Amorphous Mo-N and Mo-Si-N films in microelectromechanical systems

Publiceringsår

2005

Upphovspersoner

Kattelus, Hannu; Ylönen, Mari; Blomberg, Martti

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Kattelus Hannu

Ylönen Mari

Blomberg Martti

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Fatigue & Fracture of Engineering Materials & Structures

Volym

Nummer

Sidor

743-749

ISSN

8756-758X

Publikationsforum

56039

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1111/j.1460-2695.2005.00887.x

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej