Low-temperature bonding of thick-film polysilicon for microelectromechanical system (MEMS)

Publiceringsår

2006

Upphovspersoner

Luoto, Hannu; Suni, Tommi; Kulawski, Martin; Henttinen, Kimmo; Kattelus, Hannu

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Kattelus Hannu

Luoto Hannu

Henttinen Kimmo

Kulawski Martin

Suni Tommi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Microsystem Technologies

Volym

Nummer

Sidor

401-405

ISSN

0946-7076

Publikationsforum

63348

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1007/s00542-005-0037-3

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej