MEMS on cavity-SOI wafers

Publiceringsår

2007

Upphovspersoner

Luoto, Hannu; Henttinen, Kimmo; Suni, Tommi; Dekker, James; Mäkinen, Jari; Torkkeli, Altti

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Dekker James

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Solid-State Electronics

Volym

Nummer

Sidor

328-332

ISSN

0038-1101

Publikationsforum

67380

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.sse.2007.01.007

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej